中国机械工程2007，Vol.18Issue(2)：193-197,5.
扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究
Research on Precision Stage and Control Technology of Scanning Tunneling Microscope
摘要
关键词
扫描隧道显微镜(STM)/精密工作台/压电陶瓷/神经网络/BP算法/PID控制分类
机械制造引用本文复制引用
魏强,张玉林,宋会英,郝慧娟..扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究[J].中国机械工程,2007,18(2):193-197,5.基金项目
国家自然科学基金资助重大项目(90307003) （90307003）
国家自然科学基金资助项目(10572078) （10572078）
山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03) （Y2003G03）
