物理学报2008，Vol.57Issue(3)：1935-1940,6.
掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究
Study on the mechanical properties of diamond like carbon films with Si doping
赵栋才 1任妮 1马占吉 1邱家稳 1肖更竭 1武生虎1
作者信息
- 1. 兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室,兰州,730000
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赵栋才,任妮,马占吉,邱家稳,肖更竭,武生虎..掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究[J].物理学报,2008,57(3):1935-1940,6.
