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氧化钒薄膜微观结构的研究

潘梦霄 曹兴忠 李养贤 王宝义 薛德胜 马创新 周春兰 魏龙

物理学报2004,Vol.53Issue(6):1956-1960,5.
物理学报2004,Vol.53Issue(6):1956-1960,5.

氧化钒薄膜微观结构的研究

Microstructural features of DC sputtered vanadium oxide thin films

潘梦霄 1曹兴忠 2李养贤 1王宝义 3薛德胜 2马创新 1周春兰 3魏龙1

作者信息

  • 1. 中国科学院高能物理研究所核分析技术重点实验室,北京,100039
  • 2. 河北工业大学材料科学与工程学院,天津,300130
  • 3. 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,兰州,730000
  • 折叠

摘要

关键词

微观结构/氧化钒薄膜/择优取向/直流磁控溅射

分类

数理科学

引用本文复制引用

潘梦霄,曹兴忠,李养贤,王宝义,薛德胜,马创新,周春兰,魏龙..氧化钒薄膜微观结构的研究[J].物理学报,2004,53(6):1956-1960,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:19927001)资助的课题. (批准号:19927001)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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