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基于微模塑复制技术的平面线圈研制

刘波 吴一辉 张平

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1963-1966,1969,5.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1963-1966,1969,5.

基于微模塑复制技术的平面线圈研制

Development of Planar Coils Based on Micromolding Replication Techniques

刘波 1吴一辉 2张平1

作者信息

  • 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

平面线圈/微模塑/微沟槽/模版/固化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘波,吴一辉,张平..基于微模塑复制技术的平面线圈研制[J].传感技术学报,2006,19(5):1963-1966,1969,5.

基金项目

国家自然科学基金项目资助(60574089) （60574089）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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