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TLP应力下深亚微米GGNMOSFET特性的仿真

朱志炜 郝跃

半导体学报2005,Vol.26Issue(10):1968-1974,7.
半导体学报2005,Vol.26Issue(10):1968-1974,7.

TLP应力下深亚微米GGNMOSFET特性的仿真

A Characterization Simulation of a Deep Sub-Micron GGNMOSFET Under TLP Stress

朱志炜 1郝跃1

作者信息

  • 1. 西安电子科技太学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

静电放电/传输线脉冲/氧化层电场

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱志炜,郝跃..TLP应力下深亚微米GGNMOSFET特性的仿真[J].半导体学报,2005,26(10):1968-1974,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60376024)和国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA1Z1630)资助项目 (批准号:60376024)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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