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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析

方莉俐

高压物理学报Issue(3)：197,1.
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高压物理学报Issue(3)：197,1.

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析

方莉俐1

作者信息

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摘要

关键词

金刚石/薄膜/微波/化学气相沉积

分类

数理科学

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方莉俐..微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析[J].高压物理学报,1991,(3):197,1.

高压物理学报

OACSCD

1000-5773

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