中国机械工程2008，Vol.19Issue(16)：1976-1979,4.
MEMS电磁驱动微器件的失稳特性研究
Instability Study of Electromagnetic Actuated Micro-devices in MEMS
摘要
关键词
MEMS/电磁驱动微器件/失稳特性/磁动势控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭永献,贾建援,张秀艳,张大兴..MEMS电磁驱动微器件的失稳特性研究[J].中国机械工程,2008,19(16):1976-1979,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10476019) （10476019）
