半导体学报2007，Vol.28Issue(12)：1979-1982,4.
一种硅纳米梁负载-偏转特性的多尺度模型
A Multi-Scale Model for Load-Deflection of Si Nanobeams
摘要
关键词
纳机电系统/双端固支梁/多尺度/弯曲分类
物理学引用本文复制引用
鲍芳,于虹,陆清茹,黄庆安..一种硅纳米梁负载-偏转特性的多尺度模型[J].半导体学报,2007,28(12):1979-1982,4.基金项目
国家重点基础研究发展计划资助项目(批准号:2006CB300404) （批准号:2006CB300404）
