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高性能1mm SiC基AlGaN/GaN功率HEMT研制

罗卫军 陈晓娟 李成瞻 刘新宇 和致经 魏珂 梁晓新 王晓亮

半导体学报2006,Vol.27Issue(11):1981-1983,3.
半导体学报2006,Vol.27Issue(11):1981-1983,3.

高性能1mm SiC基AlGaN/GaN功率HEMT研制

Fabrication of a High-Performance 1mm AlGaN/GaN HEMT on SiC Substrate

罗卫军 1陈晓娟 2李成瞻 2刘新宇 2和致经 2魏珂 2梁晓新 2王晓亮2

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 2. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

AlGaN/GaN/高电子迁移率晶体管/微波功率/功率增益

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

罗卫军,陈晓娟,李成瞻,刘新宇,和致经,魏珂,梁晓新,王晓亮..高性能1mm SiC基AlGaN/GaN功率HEMT研制[J].半导体学报,2006,27(11):1981-1983,3.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(批准号:2002CB311903,G20000683)及中国科学院重点创新(批准号:KGCX2-SW-107)资助项目 (批准号:2002CB311903,G20000683)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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