半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：198-201,4.
多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用
Design of μPEMFC Fabricated with Porous Silicon
摘要
关键词
微型质子交换膜燃料电池/多孔硅/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王晓红,谢克文,周俊,刘理天..多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用[J].半导体学报,2003,24(z1):198-201,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:90207023) （批准号:90207023）
