传感技术学报2007，Vol.20Issue(9)：1992-1995,4.
硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算
Design and Simulated Calculation of Si-Based Micromechanical Resonant Accelerometer
摘要
关键词
微机电系统/微机械加速度计/谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
任杰,樊尚春..硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J].传感技术学报,2007,20(9):1992-1995,4.基金项目
国家高技术研究发展计划资助(863计划)(2006AA042364) （863计划）
