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MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器

黄家乐 毛陆虹 陈弘达 高鹏 刘金彬 雷晓荃

半导体学报2005，Vol.26Issue(10)：1995-2000,6.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(10)：1995-2000,6.

MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器

A MS/RF CMOS-Process-Compatible Photodetector

黄家乐 1毛陆虹 1陈弘达 2高鹏 2刘金彬 2雷晓荃1

作者信息

  • 1. 天津大学电子与信息工程学院,天津,300072
  • 2. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

单片集成/MS/RF/CMOS工艺/硅光电探测器/暗电流/响应度/结电容

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄家乐,毛陆虹,陈弘达,高鹏,刘金彬,雷晓荃..MS/RF CMOS工艺兼容的光电探测器[J].半导体学报,2005,26(10):1995-2000,6.

基金项目

国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312240,2003AA312040)和国家自然科学基金(批准号:69896260)资助项目 （批准号:2002AA312240,2003AA312040）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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