半导体学报2007，Vol.28Issue(12)：2011-2017,7.
SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法
Simulation of the Diffraction Effect in Exposure on a SU-8 Photoresist and the Glycerol Compensated Method
摘要
关键词
SU-8胶/菲涅耳衍射/丙三醇分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱真,黄庆安,李伟华,周再发,冯明..SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法[J].半导体学报,2007,28(12):2011-2017,7.基金项目
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519) （批准号:50325519）
