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a-Si:H薄膜的再结晶技术发展概述

冯团辉 卢景霄 张宇翔 郜小勇 王海燕 靳锐敏

能源工程Issue(6):20-23,4.
能源工程Issue(6):20-23,4.

a-Si:H薄膜的再结晶技术发展概述

Recrystallization technology of a-Si:H thin films

冯团辉 1卢景霄 1张宇翔 1郜小勇 1王海燕 1靳锐敏1

作者信息

  • 1. 郑州大学,教育部材料物理重点实验室,河南,郑州,450052
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摘要

关键词

非晶硅薄膜/再结晶技术/多晶硅薄膜/多晶硅薄膜太阳电池

分类

数理科学

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冯团辉,卢景霄,张宇翔,郜小勇,王海燕,靳锐敏..a-Si:H薄膜的再结晶技术发展概述[J].能源工程,2004,(6):20-23,4.

能源工程

1004-3950

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