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高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

易春 谢茂浓 彭志坚 向少华 傅鹤鉴

广西师范大学学报（自然科学版）2000，Vol.18Issue(3)：20-23,4.
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广西师范大学学报（自然科学版）2000，Vol.18Issue(3)：20-23,4.

高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

PROBES ON PREPARING SiC FILM BY PYROLYSIS OF POLYSILOXANE

易春 1谢茂浓 1彭志坚 2向少华 1傅鹤鉴2

作者信息

  • 1. 四川大学物理系,四川,成都,610064
  • 2. 四川大学化学系,四川,成都,610064
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摘要

关键词

碳化硅/聚硅烷/热解

分类

数理科学

引用本文复制引用

易春,谢茂浓,彭志坚,向少华,傅鹤鉴..高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探[J].广西师范大学学报（自然科学版）,2000,18(3):20-23,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(29171024) （29171024）

广西师范大学学报（自然科学版）

OACSTPCD

1001-6600

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