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物理学报
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SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究
SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究
傅广生
王金国
李晓苇
韩理
吕福润
物理学报
Issue(12)：2024-2031,2024a,9.
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物理学报
Issue(12)
：2024-2031,2024a,9.
SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究
傅广生
1
王金国
1
李晓苇
1
韩理
1
吕福润
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关键词
SiH4
/
激光
/
等离子体
/
反应动力学
分类
化学化工
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傅广生,王金国,李晓苇,韩理,吕福润..SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究[J].物理学报,1991,(12):2024-2031,2024a,9.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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