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一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计

明亮 汪银年 王家光 张福学

北京机械工业学院学报(综合版)2006,Vol.21Issue(4):20-25,6.
北京机械工业学院学报(综合版)2006,Vol.21Issue(4):20-25,6.

一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计

Design of a signal detection circuit of silicon micromachined gyroscope

明亮 1汪银年 1王家光 1张福学1

作者信息

  • 1. 北京信息工程学院,传感技术研究中心,北京,100101
  • 折叠

摘要

关键词

硅微机械陀螺/差动电容/频率特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

明亮,汪银年,王家光,张福学..一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计[J].北京机械工业学院学报(综合版),2006,21(4):20-25,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(60472011) (60472011)

北京市传感器重点实验室项目(53062017) (53062017)

北京机械工业学院学报(综合版)

1674-6864

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