强激光与粒子束2008，Vol.20Issue(12)：2027-2031,5.
Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响
Effects of Fe-embedding on microstructure and electrical properties of diamond like carbon films
摘要
关键词
脉冲激光气相沉积/类金刚石薄膜/铁嵌埋/微观结构/电导率分类
数理科学引用本文复制引用
李盛印,吴卫东,王锋,王雪敏,唐永建,孙卫国..Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响[J].强激光与粒子束,2008,20(12):2027-2031,5.基金项目
中国工程物理研究院基金资助课题(200520805) （200520805）
