传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2038-2040,3.
CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
Fabrication of Glass Microfluidic Chip by Laser Direct Writing and Wet Etching
摘要
关键词
微流控芯片/制作/CO2激光/湿法腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘晓清,郝苇苇,高巍巍,周勇亮..CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片[J].传感技术学报,2006,19(5):2038-2040,3.基金项目
福建省科技重点项目资助(2003H86) （2003H86）
留学回国人员启动基金资助 （）
