半导体学报2008，Vol.29Issue(10)：2038-2042,5.
纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性
Fabrication and Characteristics of a Nano-Polysilicon Thin Film Pressure Sensor
摘要
关键词
纳米多晶硅薄膜/MEMS技术/压力传感器/温度系数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵晓锋,温殿忠..纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性[J].半导体学报,2008,29(10):2038-2042,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60876044),黑龙江省教育厅科技研究计划(批准号:11521215)和黑龙江省电子工程学院重点实验室基金(DZZD2006-12)资助项目 （批准号:60876044）
