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原子力显微镜探针原位有效参数对线宽测量的修正

朱明智 蒋庄德 景蔚萱

计量学报2005，Vol.26Issue(3)：204-206,252,4.
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计量学报2005，Vol.26Issue(3)：204-206,252,4.

原子力显微镜探针原位有效参数对线宽测量的修正

Amendment of AFM Linewidth Measurement by the Effective Parameters of Tip in Situ

朱明智 1蒋庄德 2景蔚萱3

作者信息

  • 1. 机械制造系统工程国家重点实验室,陕西,西安,710049
  • 2. 西安交通大学精密工程研究所,陕西,西安,710049
  • 3. 中国工程物理研究院总体工程研究所,四川,绵阳,621900
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摘要

关键词

计量学/原子力显微镜/扫描探针/线宽测量/表征样板

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

朱明智,蒋庄德,景蔚萱..原子力显微镜探针原位有效参数对线宽测量的修正[J].计量学报,2005,26(3):204-206,252,4.

基金项目

国家自然科学基金(50475086) （50475086）

计量学报

OA北大核心CSCD

1000-1158

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