高等学校化学学报2003，Vol.24Issue(11)：2048-2050,3.
高功率准分子激光沉积类金刚石膜的结构及性能
Structure and Properties of Diamond-like Film Prepared by Excime Laser with High Power and High Frequency
摘要
关键词
准分子激光器/类金刚石膜/结构特性分类
数理科学引用本文复制引用
彭鸿雁,金曾孙,李俊杰,申辉,赵立新,申家镜..高功率准分子激光沉积类金刚石膜的结构及性能[J].高等学校化学学报,2003,24(11):2048-2050,3.基金项目
国家"八六三"新材料领域Z38-02项目(批准号:2002AA325090)资助. （批准号:2002AA325090）
