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基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究

蒋洪奎 朱春耕 胡礼广 姚汤伟

农业机械学报2007,Vol.38Issue(8):205-207,192,4.
农业机械学报2007,Vol.38Issue(8):205-207,192,4.

基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究

蒋洪奎 1朱春耕 1胡礼广 1姚汤伟1

作者信息

  • 1. 浙江师范大学交通学院,321010,金华市
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摘要

关键词

纳米机械/刻蚀/分子动力学模拟/原子力显微镜

分类

机械制造

引用本文复制引用

蒋洪奎,朱春耕,胡礼广,姚汤伟..基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究[J].农业机械学报,2007,38(8):205-207,192,4.

基金项目

浙江省教育厅资助项目(项目编号:20060470) (项目编号:20060470)

农业机械学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1298

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