中国机械工程2005，Vol.16Issue(22)：2052-2055,4.
直接面积法测量纳米硬度技术的研究
Research on Nanohardness Calculation Technology by Direct Area Method
摘要
关键词
原子力显微镜/纳米压痕/硬度/直接面积法/单晶硅分类
通用工业技术引用本文复制引用
周亮,姚英学..直接面积法测量纳米硬度技术的研究[J].中国机械工程,2005,16(22):2052-2055,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(59571263) （59571263）
霍英东基金资助项目 （）
