传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2061-2064,4.
低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究
Study on the Structure of Spin Valve for GMR Sensor with Low Coercivity
刘鹏 1李伟 1刘华瑞 1叶双莉 1任天令 1刘理天1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
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摘要
关键词
自旋阀/复合自由层/横向退火工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘鹏,李伟,刘华瑞,叶双莉,任天令,刘理天..低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究[J].传感技术学报,2006,19(5):2061-2064,4.
