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分子沉积(MD)膜表面形貌的测量及影响因素

高芒来 聂时春 张嗣伟

机械科学与技术2004,Vol.23Issue(2):206-208,3.
机械科学与技术2004,Vol.23Issue(2):206-208,3.

分子沉积(MD)膜表面形貌的测量及影响因素

Measurement of Topography for Molecular Deposition Films and its Influencing Factors

高芒来 1聂时春 2张嗣伟1

作者信息

  • 1. 石油大学,北京,102249
  • 2. 中国石化长城润滑油集团有限公司,北京,100085
  • 折叠

摘要

关键词

分子沉积(MD)膜/磺化酞菁铜(CuTspc)/表面形貌/分形/载荷/扫描速率

分类

数理科学

引用本文复制引用

高芒来,聂时春,张嗣伟..分子沉积(MD)膜表面形貌的测量及影响因素[J].机械科学与技术,2004,23(2):206-208,3.

基金项目

国家自然科学基金项目(50175076)和重质油加工国家重点实验室开放课题(2002-05)资助 (50175076)

机械科学与技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1003-8728

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