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压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量

高亮 阚珊珊 李敏 尼启良 陈波

光学精密工程2007，Vol.15Issue(2)：206-211,6.
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光学精密工程2007，Vol.15Issue(2)：206-211,6.

压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量

Rotation-angle-accuracy measurement of piezo tilt platform

高亮 1阚珊珊 2李敏 1尼启良 2陈波1

作者信息

  • 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033
  • 2. 中国科学院 研究生院,北京 100039
  • 折叠

摘要

关键词

极紫外太阳望远镜/ZYGO干涉仪/压电陶瓷转动平台/转角精度

分类

机械制造

引用本文复制引用

高亮,阚珊珊,李敏,尼启良,陈波..压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量[J].光学精密工程,2007,15(2):206-211,6.

基金项目

国家自然科学基金(No.60223003) （No.60223003）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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