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SOI光波导高速电光调制器的研究进展

黄庆忠 余金中

半导体学报2006,Vol.27Issue(12):2069-2074,6.
半导体学报2006,Vol.27Issue(12):2069-2074,6.

SOI光波导高速电光调制器的研究进展

Recent Progress on SOI-Based High-Speed Electro-Optic Modulators

黄庆忠 1余金中1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点联合实验室,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

SOI/单模条件/传输损耗/偏振相关/耦合效率/电光调制器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄庆忠,余金中..SOI光波导高速电光调制器的研究进展[J].半导体学报,2006,27(12):2069-2074,6.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB302803),国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA3120660)和国家自然科学基金(批准号:69896260,60336010,60537010,60576001)资助项目 (批准号:2006CB302803)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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