哈尔滨商业大学学报（自然科学版）2009，Vol.25Issue(2)：207-209,233,4.
电源功率对SiOx薄膜包装材料阻隔性影响的研究
Effects of power supply on barrier properties of SiOx thin film
摘要
关键词
SiOx/磁控溅射/电源功率/透氧率/透湿率分类
通用工业技术引用本文复制引用
张博,孙智慧,林晶,刘壮..电源功率对SiOx薄膜包装材料阻隔性影响的研究[J].哈尔滨商业大学学报（自然科学版）,2009,25(2):207-209,233,4.基金项目
国家"十一五"科技支撑计划课题资助(2006BAD05A05). （2006BAD05A05）
