中国机械工程2004,Vol.15Issue(23):2077-2081,5.
双转子研抛模去除函数的研究
Study on Removing Function of the Polishing Pad of Dual-Rotator Mechanism
摘要
关键词
非球面/双转子/去除函数/特性曲线分类
化学化工引用本文复制引用
李爱民,戴一帆,郑子文,李圣怡..双转子研抛模去除函数的研究[J].中国机械工程,2004,15(23):2077-2081,5.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助重点项目(2001AA421190) (2001AA421190)