光学精密工程2008，Vol.16Issue(11)：2081-2086,6.
投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计
Design of diffractive optical elements for off-axis illumination in projection lithography
摘要
关键词
衍射光学元件/投影光刻/分辨率增强/照明/光束整形分类
数理科学引用本文复制引用
张巍,巩岩..投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计[J].光学精密工程,2008,16(11):2081-2086,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No. 40674098) （No. 40674098）
