传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2084-2087,2091,5.
Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜的结构与气敏性能
Gas-Sensing Properties and Structure of Pd/SnO2/SiO2/Si Integrated Thin Films
王磊 1杜军 1毛昌辉 1杨志民 1熊玉华1
作者信息
- 1. 北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京,100088
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摘要
关键词
SnO2/Pd/薄膜/溅射/气体敏感分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王磊,杜军,毛昌辉,杨志民,熊玉华..Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜的结构与气敏性能[J].传感技术学报,2006,19(5):2084-2087,2091,5.
