半导体学报2007，Vol.28Issue(2)：209-212,4.
1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用
Fabrication of 1nm/s High Deposition Microcrystalline Silicon and Its Application in Solar Cells
摘要
关键词
甚高频等离子体增强化学气相沉积/微晶硅薄膜太阳电池/高沉积速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张晓丹,张发荣,赵颖,陈飞,孙建,魏长春,耿新华,熊绍珍..1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用[J].半导体学报,2007,28(2):209-212,4.基金项目
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB202600),国家自然科学基金(批准号:60506003),天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01600),中国-希腊政府间合作基金和新世纪优秀人才计划资助项目 （批准号:2006CB202600）
