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AFM/STM系统中微悬臂的设计和研制

李创社 李实 宋建平

真空电子技术Issue(2)：21,1.
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真空电子技术Issue(2)：21,1.

AFM/STM系统中微悬臂的设计和研制

李创社 1李实 1宋建平2

作者信息

  • 1. 西安交通大学
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摘要

关键词

原子力显微镜/扫描隧道显微镜/微悬臂/AFM／STM

分类

机械制造

引用本文复制引用

李创社,李实,宋建平..AFM/STM系统中微悬臂的设计和研制[J].真空电子技术,1999,(2):21,1.

真空电子技术

1002-8935

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