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采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析

张健 沈德新 王渭源

半导体学报Issue(3)：212,1.
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半导体学报Issue(3)：212,1.

采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析

张健 1沈德新 1王渭源2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

半导体/微电子机械学/压电超声微电机/固有频率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张健,沈德新,王渭源..采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析[J].半导体学报,1997,(3):212,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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