计量学报2006，Vol.27Issue(3)：212-215,4.
基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究
Research on Precision Micro-displacement Laser Sensor System Based on Auto-servo Focusing Principle
解旭辉 1王芸 1李婷1
作者信息
- 1. 国防科技大学,机电工程与自动化学院机电工程系,湖南,长沙,410073
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摘要
关键词
计量学/微位移传感器/光驱激光头/自动聚焦探测/自动搜寻法/S曲线法分类
通用工业技术引用本文复制引用
解旭辉,王芸,李婷..基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究[J].计量学报,2006,27(3):212-215,4.
