人工晶体学报2005，Vol.34Issue(1)：21-24,4.
DC Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜体结构的控制生长及其表面粗糙度的研究
Controlling Deposition and Roughness of Free-standing Diamond Film Deposited by DC Plasma Jet CVD
摘要
关键词
自支撑CVD金刚石薄膜/晶面取向/内应力/表面粗糙度分类
数理科学引用本文复制引用
周祖源,陈广超,周有良,吕反修,唐伟忠,李成明,宋建华,佟玉梅..DC Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜体结构的控制生长及其表面粗糙度的研究[J].人工晶体学报,2005,34(1):21-24,4.基金项目
国家"863"计划项目(No.2002AA305508) （No.2002AA305508）
教育部留学基金及北京市科技新星资助项目 （）
