量子电子学报2002，Vol.19Issue(1)：21-24,4.
大功率准分子激光器控制系统研制
Development of a Microcomputer Controlling System for High Power Excimer Laser
樊友平 1黄席樾 1余吟山2
作者信息
- 1. 重庆大学自动化学院重庆,400044
- 2. 中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥,230031
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摘要
关键词
准分子激光器/参数测量/主从微机控制系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
樊友平,黄席樾,余吟山..大功率准分子激光器控制系统研制[J].量子电子学报,2002,19(1):21-24,4.
