中国工程科学2004，Vol.6Issue(7)：21-25,5.
微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展
Research of MEMS and Development of One-chip RF-MEMS
摘要
关键词
微系统/集成/单芯片/无线通信系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
钟先信,余文革,李晓毅,巫正中,刘积学,陈帅,邵小良..微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展[J].中国工程科学,2004,6(7):21-25,5.基金项目
国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033105) （G1999033105）
