江西科学2008，Vol.26Issue(2)：216-219,277,5.
常压下DBD等离子体聚合氟碳有机膜表征
Deposited Fluorocarbon Particle Films by PECVD at Atmosphere Pressure
摘要
关键词
常压/同轴圆柱形DBD/氟碳有机膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陆彦钧,韩敬,何涛,郭颖,张菁..常压下DBD等离子体聚合氟碳有机膜表征[J].江西科学,2008,26(2):216-219,277,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50473003). （50473003）
