传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2174-2176,3.
一种双轴电容式微机械加速度计
A Dual-Axis Capacitive Micromechanical Accelerometer
任杰 1樊尚春1
作者信息
- 1. 北京航空航天大学仪器学院,北京,100083
- 折叠
摘要
关键词
微机电系统/微机械加速度计/有限元分析分类
机械制造引用本文复制引用
任杰,樊尚春..一种双轴电容式微机械加速度计[J].传感技术学报,2006,19(5):2174-2176,3.
