|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|传感技术学报|用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

李鹏 李昕欣 王跃林

传感技术学报2007，Vol.20Issue(10)：2174-2177,4.
✕
传感技术学报2007，Vol.20Issue(10)：2174-2177,4.

用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

Piezoresistive Silicon Dioxide Micorcantilever Sensor for Chemical Gas Detection

李鹏 1李昕欣 2王跃林2

作者信息

  • 1. 上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

二氧化硅/微悬臂梁/压阻/传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李鹏,李昕欣,王跃林..用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器[J].传感技术学报,2007,20(10):2174-2177,4.

基金项目

973项目资助(2006CB300405) （2006CB300405）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文