传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2177-2181,2185,6.
一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真
Design and Virtual Fabrication Process of a New Kind of Capacitive Accelerometer
金桐 1赵新 1谭宜勇 1孙广毅 1卢桂章1
作者信息
- 1. 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071
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摘要
关键词
MEMS/电容式微加速度计/虚拟工艺分类
机械制造引用本文复制引用
金桐,赵新,谭宜勇,孙广毅,卢桂章..一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真[J].传感技术学报,2006,19(5):2177-2181,2185,6.
