硅微陀螺仪的误差分析

施芹裘安萍苏岩朱欣华

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：2182-2185,4.

Study on the Effects of Machining Error on the Z-Axis Silicon Microgyroscope

施芹 ¹裘安萍 ¹苏岩 ¹朱欣华¹

作者信息

硅微陀螺仪/加工误差/不等弹性/正交误差

航空航天

施芹,裘安萍,苏岩,朱欣华..硅微陀螺仪的误差分析[J].传感技术学报,2006,19(5):2182-2185,4.

国家自然科学基金资助项目(10572039) （10572039）

江苏省自然科学基金资助(BK2005064) （BK2005064）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-1699

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