传感技术学报2007，Vol.20Issue(10)：2187-2190,4.
基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作
Silicon Nanowire Fabricated by BOE Silicon Etching
摘要
关键词
硅纳米线/选择性腐蚀/BOE溶液/pn结分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王慧泉,郑阳明,金仲和,马慧莲,李铁,王跃林..基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作[J].传感技术学报,2007,20(10):2187-2190,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60476033) （60476033）
国家重点基础研究发展计划(973)资助(2006CB300405) （973）
