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成品制造部洁净室噪声治理

郁惠芬

噪声与振动控制Issue(3)：22,1.
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噪声与振动控制Issue(3)：22,1.

成品制造部洁净室噪声治理

郁惠芬1

作者信息

  • 1. 上海贝岭微电子制造有限公司
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摘要

关键词

电子成品/成品制造部/洁净室/噪声/治理

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

郁惠芬..成品制造部洁净室噪声治理[J].噪声与振动控制,1997,(3):22,1.

噪声与振动控制

1006-1355

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