半导体学报2005,Vol.26Issue(z1):220-224,5.
硅基二氧化硅阵列波导光栅相位误差数值分析
Numerical Analysis for Phase Error of Silica-Based Arrayed Waveguide Grating
摘要
关键词
阵列波导光栅/串扰/相位误差/数值分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
安俊明,夏君旨,李健,郜定山,李建光,王红杰,胡雄伟..硅基二氧化硅阵列波导光栅相位误差数值分析[J].半导体学报,2005,26(z1):220-224,5.基金项目
国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000036602)和国家自然科学基金(批准号:69889701)资助项目 (批准号:G2000036602)