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硅基COZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感

杨晨 刘锋 任天令 刘理天 冯海刚 王自惠 龙海波 于军

半导体学报2005，Vol.26Issue(11)：2208-2212,5.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(11)：2208-2212,5.

硅基COZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感

A RF Integrated Inductor with CoZrO Ferrite Thin Film

杨晨 1刘锋 2任天令 1刘理天 1冯海刚 3王自惠 3龙海波 4于军2

作者信息

  • 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
  • 2. 华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430000
  • 3. 伊利诺理工学院电气与计算机工程系,芝加哥,IL,60616,美国
  • 4. 清华大学电子工程系,北京,100084
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摘要

关键词

CoZrO铁氧体/磁膜结构/射频集成

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨晨,刘锋,任天令,刘理天,冯海刚,王自惠,龙海波,于军..硅基COZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感[J].半导体学报,2005,26(11):2208-2212,5.

基金项目

美国自然科学基金资助项目(批准号:0302449) （批准号:0302449）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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