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室温射频磁控溅射沉积ITO薄膜的研究

纪安妮

厦门大学学报Issue(2)：221,1.
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厦门大学学报Issue(2)：221,1.

室温射频磁控溅射沉积ITO薄膜的研究

纪安妮1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理学系;厦门大学物理学系
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摘要

关键词

磁控溅射/ITO薄膜/晶体结构/结晶形貌/扫描电镜

分类

数理科学

引用本文复制引用

纪安妮..室温射频磁控溅射沉积ITO薄膜的研究[J].厦门大学学报,1997,(2):221,1.

厦门大学学报

OA北大核心CSCD

0438-0479

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