中国机械工程2006，Vol.17Issue(21)：2216-2220,5.
基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究
Experimental Research on Fabrication of Micro-structures & Micro-devices by UV-LIGA
摘要
关键词
UV-LIGA/微结构器件/SU-8胶/光刻/微细电铸分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
明平美,朱荻,胡洋洋,曾永彬..基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究[J].中国机械工程,2006,17(21):2216-2220,5.基金项目
江苏省自然科学基金资助项目(BK2004214) （BK2004214）
